由于使用超高频声波的缘故,超声波液位仪分辨力达到显微镜水平.最近机械扫描超声显微镜(SAM-Scanning Acoustic Microscope)发展很快,超声频率已使用0一ZGHz.横向分辨力达到5一0.514m.
超声显微镜的摄象原理是机械扫描型的C型法,也就是用声透镜会聚成很细窄超声束,在透镜焦域内照射试样面试样的反射把超声波变换成电信号,此信号与超声束的机械扫描同步,二维显示在CRT上.
反射形的超声显徽镜主机配置图象处理等控制系统、超声波接收系统和机械扫描系统,二个CRT上分别配备超声象和光学象显示,便于比较参考,

通过试样的反射、透过超声波液位仪强度和相位变化来反映试样各点徽观的弹性量的差异,所以超声显微镜图象可以提供与光学显微镜、电子显微镜图象完全不同的情报.
据报道,超声显微镜不仅用于材料内部缺陷的检侧、半导体器件的观察、利用表面弹性波进行材料评价等方面.而且适用于生物、医学等.即观察生物试样时,象光学显救镜不用染色便能得到对比度良好图象一样,不破坏试样性质就能观察.可以实际观察无染色状态、某种瘤组织、梗塞心肌组织、无染色体等。甲状膝组织切片的光学象(染色试样)和超声波液位仪象〔无染色试样).尽管无染色,也能得到对比度良好的超声象和深浅不同的光学象。http://www.rlsonar.com |